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表面潔凈度測試儀 產品參數

表面潔凈度測試儀 產品參數

產品型號: LT-Z476

所屬分類:測定儀

更新時間:2025-11-11

簡要描述:表面潔凈度測試儀 產品參數采接觸式,量測物體表面的粒子數量的設備!半導體,面板廠,設備商與所有清潔部件廠商,驗證部件表面是否干凈的檢驗標準工具,人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子,這些粒子會快速沉降,逃避常規的空氣檢測從而聚集在關鍵表面或產品上,從而減少產品的良率及降低產品的穩定性。

詳細說明:

表面潔凈度測試儀 產品參數表面潔凈度測試儀 產品參數

儀器概述:

表面潔凈度測試儀采接觸式,量測物體表面的粒子數量的設備!半導體,面板廠,設備商與所有清潔部件廠商,驗證部件表面是否干凈的檢驗標準工具,人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子,這些粒子會快速沉降,逃避常規的空氣檢測從而聚集在關鍵表面或產品上,從而減少產品的良率及降低產品的穩定性。

執行標準:

ISO14644-9:2022 《潔凈室和相關的受控環境第 部分:顆粒濃度表面清潔度的評估》

技術參數:

控制系統:PLC

操作界面:7寸觸摸屏

流量:28.3L/min+5% 內置流量傳感器,流量自動閉環控制

光源進口激光二極管

測試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.250.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um(可根據客戶需求定制,最多八個通道)

最大飽和濃度:2000000/ft35%

自凈時間:10min

測量次數:0-99次周期:0-99999秒測量間:0-9999秒時時間:0-9999

潔凈度等級:1~9

采樣頭規格:φ36.5

數據單位:m3ft3

SCP等級:1-8

表面類型:圓形、方形

表面探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm

數據單位:m2、ft2、in2、cm2mm2

根據探頭的形狀(如:圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸),自動計算出表面積。

打印功能:熱敏打印機

數據儲存:可儲存100000組數據

重量:15kg

外形尺寸:300*400*450mm

電源:AC220V 50Hz  150W (可選帶鋰電池組)

基本配置

主機  一臺

說明書 一份

合格證 一份

簽收單 一份

電源線 一份

扳手  一套

保修卡 一個

銘牌  一個





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